Orbisphere 51x 水素コントローラ

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ORBISPHERE 51x にはORBISPHERE熱伝導センサーを接続でき、選択性が高い H2.測定が可能になります。

このセンサは、さまざまな環境での液相、気相測定を行えるので、、チップ製造工場の半導体ウェーハのすすぎ、などで使用できます。
カラーディスプレイを見れば、警告内容がすぐ分かり、また、重ね合わせて表示されるグラフデータを容易に比較できます。タッチスクリーンインタフェースは、直感的に操作でき、ユーザマニュアルを参照する必要はほとんどありません。
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